磁控溅射仪 - 深圳市科晶智达科技有限公司

MSK-PSS-MC1010 磁控溅射仪

应用范围：MSK-PSS-MC1010磁控溅射仪可在衬底基片上溅射一层薄膜，原理是由惰性工艺气体产生辉光放电现象生成带电离子，带电离子经过电场加速后轰击固体靶材表面，使靶材表面原子和分子被轰击飞溅出来，同时产生二次电子，再次撞击气体原子而形成更多的带电离子，从靶材溅射出来的粒子在低压气氛中向硅片作渡越运动，碰撞到衬底基片上并被基片吸附，最终凝聚在衬底形成需要的薄膜。

产品型号：MSK-PSS-MC1010

设备尺寸：约W780*D930*H1820mm

上架时间：2024-04-15

版本号：V1.0

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MSK-PSS-MC1010磁控溅射仪可在衬底基片上溅射一层薄膜，原理是由惰性工艺气体产生辉光放电现象生成带电离子，带电离子经过电场加速后轰击固体靶材表面，使靶材表面原子和分子被轰击飞溅出来，同时产生二次电子，再次撞击气体原子而形成更多的带电离子，从靶材溅射出来的粒子在低压气氛中向硅片作渡越运动，碰撞到衬底基片上并被基片吸附，最终凝聚在衬底形成需要的薄膜。

功能特点

设备设计紧凑，可与手套箱对接；
极限真空度优于5E-5Pa（干燥环境），溅射尺寸兼容多种规格，最大为100*100mm，并支持基片旋转速度0～30rpm连续可调；
采用不锈钢真空室，内部电抛光处理，配备观察窗、靶枪及挡板转轴等；
真空系统采用“分子泵+机械泵”组合，具有高效的抽速和完善的真空测量系统；
气体控制方面，具备3路进气并可通过流量计精确控制；
配有3个共焦向上溅射的圆形靶枪，支持低气压溅射以减小二次电子损伤；
设备提供旋转加热工件台，可调节转速、加热温度以及与靶之间的距离

技术参数
电源		三相五线制AC380V±10%，频率：50Hz，总功率约6KW
气源		压缩空气：干燥、干净、无水、无油的压缩空气，8mm塑料气管，压力5.5～6公斤（0.55-0.6Mpa）普通氮气：干燥氮气，用于设备腔室破真空，8mm塑料气管，压力1-2公斤（0.1-0.2Mpa）工艺气体：高纯，99.999%，共两路工艺气体，6mm不锈钢管，其中一路为高纯氩气，压力1～2公斤（0.1-0.2Mpa），另外两路工艺气体按工艺需求准备
水源		流量15-20升/分钟水温15～25℃，进水和出水压差1～2公斤，进水压力2～3公斤，设备的进水和出水口外径12mm （建议在设备的进水口前安装一个球阀，方便调节水压和水流量）
真空室		304不锈钢真空室，内部电抛光前后开门，门上有1个80mm观察窗，带挡板，防辐射底部安装3个靶枪及挡板转轴侧壁及底部有备用法兰接口以备将来使用可拆卸不锈钢内衬，手拧拆卸方便清理
真空系统	组成	分子泵+机械泵组合式真空系统，气动阀门分子泵：中科科仪分子泵FF200/1300，抽速：1300L/s 机械泵：鲍斯BSV-30机械泵，抽速：9L/s 真空阀门：型号：DN40mm 挡板阀2套；主阀DN200 1套，可调限流阀1套，进口薄膜真空计1套，量程0.0001torr-0.1torr，自动调压真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封，不常拆静密封采用无氧铜密封
	真空极限	真空极限优于5×10－5Pa（干燥环境）
	抽速	抽气时间：大气压～工作真空（5*10-4Pa），约20min（对接手套箱氮气环境）
	真空计	1个两低一高2个真空计，测量范围：大气到1E-5Pa
气体控制		3路进气，采用Horiba Metron（中日合资）流量计控制进气，流量计最大流量分别为200/100/50sccm，两路气体经过流量计后混合，混合后导入真空室靶面
溅射靶枪		3个2英寸圆形靶枪，共焦向上溅射靶枪和工件距离80-120mm，可调节每个靶枪带一个独立的电控气动挡板可实现低气压溅射，减小二次电子损伤样品基底
溅射电源		1台G-POWER功率500W自动匹配射频电源：最大输出功率500W，频率13.56MHz，输出采用功率控制模式，自动匹配，匹配时间短，反射功率小于3W； 1台北京持动力直流溅射电源：最大输出功率500W，输出可切换采用功率控制模式，恒流模式，恒压模式，电源带完善的异常打火，短路等保护功能耐用易用
旋转加热工件台		最大可放置衬底基片样品尺寸：100mm*100mm，兼容3英寸、2英寸、φ45mm、φ30mm，以及小尺寸方形片（对角线长度小于45mm）基片转速0-30rpm连续可调，旋转轴水冷保护转轴磁流体密封样品台加热温度：最高温度500℃，控温误差±1℃ 样品台和靶之间距离采用焊接波纹管密封电动可调，带刻度显示成膜质量：样品范围内均匀性优于±5%
控制系统		西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制系统控制内容：机械泵，分子泵，气动、电磁阀门、流量计等等；自动抽真空，自动排气等完整的互锁保护（硬件、软件互锁）
真空室尺寸		约W400D400H450mm
外形尺寸		约W780D930H1820mm

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