高真空三温区CVD系统 - 深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 高真空三温区CVD系统

应用范围：高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统，其炉管直径为4″，最高温度可达1200℃，极限真空可达 10-5 torr，混气系统可对1-9种气体进行精确的混合，然后导入管式炉内部，可用来研究气体环境对材料的影响。

产品型号：OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

上架时间：2020-04-16

重量：100kg

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高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统，其炉管直径为4″，最高温度可达1200℃，极限真空可达 10-5 torr，混气系统可对1-9种气体进行精确的混合，然后导入管式炉内部，可用来研究气体环境对材料的影响。

功能特点

炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度<60℃。
保温材料采用高纯氧化铝纤维，减少热量损失，且内膛涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率，延长使用寿命。
设有三个温区，可独立控温，可设置50段升降温程序，并设有过热和断偶保护。
供气系统与真空机组置于移动架内，方便移动。
真空系统采用一键操作，按下“start”键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动，待真空度达到 10-2mbar后分子泵自动启动）。
根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率
已通过CE认证。

技术参数
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
电	AC220V 50Hz，必须有良好接地
气	设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源
工作台	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通风装置	需要
管式炉	电源	AC 208V-240V单相 50Hz/60Hz 7KW
	炉管	高纯石英管，外径Ø100mm×内径Ø92mm×1400mm
	加热元件	掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆
	加热区	温区I长220mm，温区II长440mm，温度III长220mm，总长880mm
	恒温区	500mm（三个温区设为同一温度时）
	工作温度	最高1200℃，连续工作1100℃
	最大升温速率	≤20℃/min
	控温精度	±1℃
	热电偶	3根K型热电偶
高真空机组	输入电源	AC110V或AC220V可切换 50Hz/60Hz
	消耗功率	110W
	壳体尺寸	600mm×600mm×700mm
	最大承重量	270kg
	抽气速率	N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s
	工作范围	1000mbar-<10-7mbar
	极限真空度	10-5torr
	数字式真空显示计	10-8mbar-103mbar
质量流量混气系统	质量流量计	9通道精密质量流量计
	流量计范围	10scc-1000scc三个，20scc-200scc三个，30scc-10scc三个
	压力表	3个，用来检测混合气体压力
炉体尺寸	550mm×380mm×520mm
高真空机组尺寸	600mm×600mm×700mm
质量流量混气系统尺寸	600mm×600mm×700mm
重量	100kg
真空配件	1	不锈钢真空密封法兰	2个
	2	精密针阀	2个
	3	1/4″软管接头	1个
	4	高温硅胶O型密封圈（最高可承受300℃）	6个
	5	氧化铝管堵	1套
	6	KF-40真空波纹管	1根
	7	KF-40快速卡箍	3个
	8	KF-25卡箍	2个
可选配件	防腐型数字式真空显示计

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实验设备

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