开启式单温区低真空CVD系统 - 深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1200X-F3LV 开启式单温区低真空CVD系统

应用范围：开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成，可为CVD或扩散实验提供1-3种的混合气体，真空度可达10-2torr。

产品型号：OTF-1200X-F3LV

上架时间：2020-04-16

重量：60kg

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开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成，可为CVD或扩散实验提供1-3种的混合气体，真空度可达10-2torr。

功能特点

双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。
内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。
采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。
设有超温及断偶报警功能。
已通过CE认证。

技术参数
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要。
电	AC220V 50Hz，必须有良好接地
气	设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源
工作台	尺寸600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通风装置	需要
电源	AC 220V 50/60Hz 2.5KW
石英管	外径Ø80mm，内径Ø75mm，长1000mm
加热元件	掺钼铁铬铝合金电阻丝
加热区域	440mm
恒温区域	150mm
工作温度	最高1200℃，连续工作1100℃
最大升降温速率	20℃/min
控温精度	±1℃
真空度	5.5×10-3torr（机械泵），10-4torr（分子泵）
泄漏率	<5mtorr/min
浮子流量计	3个；10ml/min-100ml/min，16ml/min-160ml/min，25ml/min-250ml/min
压力表	4个
管式炉尺寸	550mm×380mm×520mm
混气系统尺寸	600mm×600mm×597mm
重量	60kg

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实验设备

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