多通道质子流量计控制系统 - 深圳市科晶智达科技有限公司

GSL-LCD 多通道质子流量计控制系统

应用范围：GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

产品型号：GSL-LCD

上架时间：2019-07-09

安装尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

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GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

性能指标和基本配置
功能	双通道	三通道	四通道	五通道
质子流量控制器	工作温度：5~45ºC 最大压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用	工作温度：5~45 ºC 最大压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用	工作温度: 5~45 ºC 最大压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用	工作温度: 5~45 ºC 最大压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客户要求定制
输入电源	AC 220V/50Hz单相
功率	23W
PLC触摸屏	● 各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上 ● RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制
机械压力表	● 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 ● 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
针阀	316 不锈钢
通气管道	● 内部连接管道为1/4”不锈钢管 ● 外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐	Φ80X120mm
截止阀及配件	● 316不锈钢针阀 ● Φ1/4” 不锈钢管
外形尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
相关产品	CVD & PECVD 管式炉（点击图片查看详细资料）
质量认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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