混气系统3路浮子 - 深圳市科晶智达科技有限公司

GSL-3F 混气系统3路浮子

应用范围：这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。产品型号：GSL-3F

上架时间：2019-07-09

安装尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

重量：约75 Kg

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这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。

性能指标和基本配置
浮子流量计	● 三种不同量程的浮子流量计，控制精度4% ● A：10 - 100mL/min ● B：16 - 160mL/min ● C：25 - 250mL/min
机械压力表（混气罐）	-0.1-0.15 Mpa
接头和气管	● 在混气系统右侧安装三个气体进口 ● 两通道气体流入气体混合罐，另一个通道气体不通过气体混合管（请参考说明书，也可另行定制，详情请咨询销售） ● 两个出口（可连接科晶管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体） ● 12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头
真空针阀	● 采用ss304不锈钢 ● 安装在混气系统的右侧
安装带刹车的转向轮	外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
净重	约75 Kg
可选	CVD或者PECVD 液相气体发生器
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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