1700℃两通道混气高真空CVD系统 - 深圳市科晶智达科技有限公司

GSL-1700X-4-C2HV 1700℃两通道混气高真空CVD系统

应用范围：1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成，最高工作温度可达1600℃，混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入管式炉内部，本系统极限真空度可达10-5 torr。

产品型号：GSL-1700X-4-C2HV

上架时间：2020-04-20

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1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成，最高工作温度可达1600℃，混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入管式炉内部，本系统极限真空度可达10-5 torr。

功能特点

双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。
采用高纯氧化铝纤维，有效减少热量损失。
内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和使用寿命。
采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。
已通过CE认证。

技术参数
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
电	AC220V 50Hz，必须有良好接地
气	设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源
工作台	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通风装置	需要
管式炉	电源	单相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW
	炉管	高纯氧化铝陶瓷管，外径Ø100mm，内径Ø92mm，长1000mm
	加热元件	1800℃硅钼棒8根
	加热区域	457mm
	恒温区域	150mm
	工作温度	最高1650℃，连续工作1600℃
	最大升降温速率	≤5℃/min
	控温精度	±1℃
	热电偶	B型
	不锈钢真空法兰	1对
	机械压力表	1个
	针阀	2个
	连接器	KF-25，1个
	抽气接口	KF-25转KF-40
	卡套接头	1/4″
高真空机组	电源	单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W
	真空泵	德国Pfeiffer真空泵
	显示屏	LCD数字显示
	抽气速率	N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s
	工作范围	1000mtorr-10-7mtorr
	极限	10-8mtorr（无泄漏）
质量流量混气系统	电源	单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W
	功率	18W
	混气箱	Φ80mm×120mm
管式炉尺寸	550mm×380mm×520mm
高真空机组尺寸	600mm×600mm×700mm
质量流量混气系统尺寸	600mm×600mm×700mm

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