500W等离子刻蚀清洗机 - 深圳市科晶智达科技有限公司

PCE-500W 500W等离子刻蚀清洗机

应用范围：PCE-500W是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔体，采用的射频电源频率为13.56MH，功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高，可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用，对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

产品型号：PCE-500W

上架时间：2019-09-04

安装尺寸：600mm L×600mm W×810mm H

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PCE-500W是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔体，采用的射频电源频率为13.56MH，功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高，可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用，对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

性能指标和基本配置
主要参数	● 射频功率：0-500W ● 总功率：1.5KW ● 电源：AC220V 50/60Hz
射频电源	● 射频功率可在0-500W之间调节 ● 频率：13.56MHz ● 注：可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机
等离子腔体	● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体 ● 铝制折叠式法兰来进行真空密封 ● 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 ● 此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏
控制面板	● 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等 ● 仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量
真空泵（选配）	● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 ● 极限真空度为80mTorr（参考值，具体请点击）
通入气体	● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） ● 不能使用易燃气体及腐蚀性气体。
可选	● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 ● 可选购2-4通道质子或浮子混气系统
产品尺寸	600mm L×600mm W×810mm H
相关应用	● 请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率 ● 对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 -100W之间 ● 对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在300-500W之间
质量认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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