2英寸高真空磁控溅射头 - 深圳市科晶智达科技有限公司

HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控溅射头

应用范围：HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。

产品型号：HVMSS-SPC-2

上架时间：2019-09-02

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HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。。

性能指标和基本配置
特征	● 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作 ● 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布 ● 磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命 ● 标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配 ● 安装是采用标准真空接头，便于操作 ● 更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度
所需功率	● DC（最大）1000W ● RF（最大）500W
最大溅射电流	3A
溅射电压	100-1000V
溅射时腔体真空度	5-100 mTorr
溅射均匀性曲线图
尺寸	● 阳极护套直径：3.5英寸 ● 总长度：14英寸
靶材	● 直径: 2.0英寸(50.8mm) ● 厚度: 对于非磁性靶材，最大厚度为1/8英寸 ● 对于磁性靶材，最大厚度为1/16英寸 ● 靶材利用率：30% ● 磁铁:NdFeB 稀土磁铁
需要冷却水	● 流速:0.8 GPM ● 进水温度:<20 ℃ ● 水管:0.25" OD.
可选配件	● 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头 ● 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸 ● 循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
外形尺寸
保修期	一年保修，终身技术支持。点击查看售后服务承诺书。

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