实验设备

单温区
● 一对SS304不锈钢法兰，通过用两个高温O型圈紧密密封可获得高真空
● 炉子底部装有一对滑轨，炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却
● 双管道设计，内外管径分别为80mm、100mm,用于沉积的衬底包裹在内管外壁表面
● 高纯氧化铝保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性
● 内炉膛表面涂有美国进口的1750℃高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
● 炉子底部的冷却风扇加快了热量发散
● 密封法兰系统全不锈钢制作

双温区
● 高纯氧化铝保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性
● 炉子底部的冷却风扇加快了热量发散
● 工作温度：最高1200℃；连续1100℃
● 两段加热区分别独立控温（每个加热区长度200mm，总长400mm）
● 两个温区设置同样的温度，恒温区可增加至250mm
● 在两个温区中间放入管堵（隔热）则两温区温差可达300℃。

单温区

最快的加热和冷却速度跟工作温度有关，请点击下图看出最快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。在使用炉子之前，要校准工作温度和加热、冷却速度。
此为参考值，因实验环境不同，会有差异，具体请咨询销售部。

● 两对真空密封法兰，含水冷套和不锈钢针阀
● 内管：O.D80 ×I.D 75×L1800 mm
● 外管：O.D100×I.D 96×L1400 mm

● 双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径80mm. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应
● 双管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管
● 四通道质量流量计控制4路气体
● 配有KF25快接和波纹管的高速机械泵
● 炉子底部装有滑轨：炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温

利用双管炉采用CVD法以金属箔为衬底上生长的薄膜(缠绕在内收卷辊表面)

请点击相关文章:“卷对卷法制备30"石墨烯透明电极”
如下图所示，一对不锈钢真空法兰密封了外管道，内管道和内外管道之间的空间(该空间为反应室)。
将两端内管的两端打开以供气体冷却。

极限真空度: 10^-2 torr (机械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8×10E-5至1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

● PID自动控制
● 可编制30段升降温控制程序
● 内置过热报警装置，无需人员看护
● 内置超温保护和报警装置
● 控温精度: ±1℃
● 默认RS485通信端口
● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

● 可选购欧陆型温控仪表，控温精确度可以提升到±0.1℃
● 具体详情请致电我公司销售

● 安装在移动架底部的机械泵，真空度达10E-3torr（参考值，详情请点击）
● 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接
● 数字真空表安装在一端的法兰上
● 选择：可以配分子泵，真空度达 10E-5torr（参考值，详情请点击）

● 法兰上的水冷主要是为了保护法兰内O形圈，以确保其在高温下的密封性。
● 你可以直接接通自来水冷却，但考虑到经济环保我们建议你使用循环水冷机。请点击下图选购循环水冷机。

● 你可以将该款双管炉改为单管炉使用（Ф80mm）。单管炉的真空法兰需要您额外定购。
● 左法兰:设置有宝塔嘴式进口及针阀，Ф1/4"铠装口供客户端插入热电偶，用于温度校准。
● 右侧法兰:KF25接口，机械压力表，出气口及针阀

作为基片用的25um厚的铜箔

590L×380W×520H mm(炉体）
600L×600W×700H mm(真空泵）
600L×850W×700H mm(混气系统）

136Kg

● 石英炉管采用真空密封，管内可处于微正压但压力小于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。（请点击这里学习如何安装减压阀）
● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。（请点击这里学习如何安装炉管和真空法兰）
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度＜1100℃
● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
● 滑轨上设置有一个炉体定位装置（如下图）
● 在进行化学气相沉积后，石墨烯可从金属催化剂转移到另一个基片衬底上，此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯，表面平整度高且无残渣。

专利名称：一种快速高温退火炉
专利编号：ZL-2011-2-0077168.4
尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

● 为了得到较快的加热速度，可以先将炉膛预热，然后滑到放置样品的位置。
● 为了获得较快的冷却的速度，把炉子滑向另一端，同时将冷却气体通入样品所在的位置。

样品的快速升温和冷却可以通过滑移加热的炉体来实现。请在操作时穿上防护装备，如防热服和高温手套。禁止用手去触碰加热的炉管表面!

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。