实验设备

● 炉体结构:  双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷,
● 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
● 加热元件:  8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)
● 加热区:    4"X12" length （ +/-5oC ）
● 石英管:    4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
● 真空法兰:  不锈钢制作，带有水冷接口和针阀，双层高温”O“型圈密封。长时间在 > 900oC 条件下运行必须采用水冷
● 循环水流量: 0.5 m3 /hr
● 温控仪:  通过可控硅（SCR)   PID 自动控制
● 带自整定功能的30 程序精确控制
● 具有过热保护和断偶保护功能
● 控温精度: +/- 0.5oC
● RS485 接口可与电脑连接
● 包含软件(要求Window XP/7 系统)
● 最快升温速度:  室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
● 工作温度:     最高1100oC
● 功率:       208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险)
● 尺寸:       760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
● 重量:       45 kg (100 lbs)

可滑动的石英样品架, 最大可放 3" 基片炉子可以以 100 oC/S升温到1000 oC, 打开上盖可快速降温滑动法兰使得装载样品很容易

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

● 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min  ， 精度4%  FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。
● 高速真空泵2TW-4C-220v （真空度可达f 10-2 torr）. 通过橡胶管与RTP炉子相连.
● 4个不锈钢针阀（移动架的侧面）分别控制3路进气和一路混合气。
● 4个压力表（移动架的正面）分别显示每路气体和混气的压力。

600 mm (L) x 600 mm  (W) x 597 mm ( H)

210 lbs